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            电子生产企业洁净系统工程

            《电子工厂洁净厂房设计规定》GB50472-2008中规定

            集成电路对化学污染物的控制指标

            洁净室(区)温度和相对湿度要求

            洁净送风量(静态)和气流流形

            防静电环境设计分级使用场所

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